フルプログラム型の手動装填タイプで、８インチウエハーあるいは、６インチ角までのLCD基板やフォトマスクが扱えます。
高精度デジタル制御のスピンコーターで、フォトレジスト、カラーフィル夕、ポリイミド、LCD用コーティング剤の成膜のような、高精度と再現性の要求されるプロセスに最適です。

高精度デジタル制御のスピンコーターとホットプレートを一体化したフルプログラム型の手動装填タイプで、８インチウエハーあるいは、６インチ角までのLCD基板やフォトマスクが扱えます。
フォトレジスト、カラーフィルタ、ポリイミド、LCD用コーティング剤の成膜のような、高精度と再現性の要求されるプロセスに最適です。